Silicon Semiconductor Technology

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Über den Autor

About the Author

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann has been teaching semiconductor technology, microelectromechanical systems, sensor technology and optoelectronic system integration since 1989.

Inhaltsverzeichnis

Wafer fabrication.- Thermal oxidation.- Lithography.- Etching technology.- Doping techniques.- Chemical and Physical Deposition.- Metallization and Contacts.

Details

Erscheinungsjahr:	2023
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Inhalt:	xi 264 S. 176 s/w Illustr. 2 farbige Illustr. 264 p. 178 illus. 2 illus. in color.
ISBN-13:	9783658410407
ISBN-10:	365841040X
Sprache:	Englisch
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Hilleringmann, Ulrich
Auflage:	1st edition 2023
Hersteller:	Springer Fachmedien Wiesbaden Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Vieweg in Springer Science + Business Media, Abraham-Lincoln-Str. 46, D-65189 Wiesbaden, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	240 x 168 x 15 mm
Von/Mit:	Ulrich Hilleringmann
Erscheinungsdatum:	03.08.2023
Gewicht:	0,524 kg