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About the Author
Wafer fabrication.- Thermal oxidation.- Lithography.- Etching technology.- Doping techniques.- Chemical and Physical Deposition.- Metallization and Contacts.
| Erscheinungsjahr: | 2023 |
|---|---|
| Fachbereich: | Nachrichtentechnik |
| Genre: | Mathematik, Medizin, Naturwissenschaften, Technik |
| Rubrik: | Naturwissenschaften & Technik |
| Medium: | Taschenbuch |
| Inhalt: |
xi
264 S. 176 s/w Illustr. 2 farbige Illustr. 264 p. 178 illus. 2 illus. in color. |
| ISBN-13: | 9783658410407 |
| ISBN-10: | 365841040X |
| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Kartoniert / Broschiert |
| Autor: | Hilleringmann, Ulrich |
| Auflage: | 1st edition 2023 |
| Hersteller: |
Springer Fachmedien Wiesbaden
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH |
| Verantwortliche Person für die EU: | Springer Vieweg in Springer Science + Business Media, Abraham-Lincoln-Str. 46, D-65189 Wiesbaden, juergen.hartmann@springer.com |
| Maße: | 240 x 168 x 15 mm |
| Von/Mit: | Ulrich Hilleringmann |
| Erscheinungsdatum: | 03.08.2023 |
| Gewicht: | 0,524 kg |
About the Author
Wafer fabrication.- Thermal oxidation.- Lithography.- Etching technology.- Doping techniques.- Chemical and Physical Deposition.- Metallization and Contacts.
| Erscheinungsjahr: | 2023 |
|---|---|
| Fachbereich: | Nachrichtentechnik |
| Genre: | Mathematik, Medizin, Naturwissenschaften, Technik |
| Rubrik: | Naturwissenschaften & Technik |
| Medium: | Taschenbuch |
| Inhalt: |
xi
264 S. 176 s/w Illustr. 2 farbige Illustr. 264 p. 178 illus. 2 illus. in color. |
| ISBN-13: | 9783658410407 |
| ISBN-10: | 365841040X |
| Sprache: | Englisch |
| Einband: | Kartoniert / Broschiert |
| Autor: | Hilleringmann, Ulrich |
| Auflage: | 1st edition 2023 |
| Hersteller: |
Springer Fachmedien Wiesbaden
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH |
| Verantwortliche Person für die EU: | Springer Vieweg in Springer Science + Business Media, Abraham-Lincoln-Str. 46, D-65189 Wiesbaden, juergen.hartmann@springer.com |
| Maße: | 240 x 168 x 15 mm |
| Von/Mit: | Ulrich Hilleringmann |
| Erscheinungsdatum: | 03.08.2023 |
| Gewicht: | 0,524 kg |
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