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Cover: 9783835100039 | Mikrosystemtechnik | Prozessschritte, Technologien, Anwendungen | Buch
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Mikrosystemtechnik
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Taschenbuch von Ulrich Hilleringmann
Sprache: Deutsch

37,99 €*

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Kategorien:
Beschreibung
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Über den Autor
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
Zusammenfassung
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Inhaltsverzeichnis
Prozesstechnik.- Basisprozesse der Mikrosystemtechnik.- Sensor- und Aktoreffekte.- Monolithisch integrierte Mikrosysteme.- Hybride Systeme.
Details
Erscheinungsjahr: 2006
Fachbereich: Nachrichtentechnik
Genre: Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Taschenbuch
Seiten: 288
Inhalt: x
274 S.
ISBN-13: 9783835100039
ISBN-10: 3835100033
Sprache: Deutsch
Herstellernummer: 85027195
Ausstattung / Beilage: Paperback
Einband: Kartoniert / Broschiert
Autor: Hilleringmann, Ulrich
Auflage: 2006
Hersteller: Vieweg & Teubner
Vieweg+Teubner Verlag
Maße: 210 x 148 x 16 mm
Von/Mit: Ulrich Hilleringmann
Erscheinungsdatum: 25.04.2006
Gewicht: 0,376 kg
preigu-id: 102250616
Über den Autor
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
Zusammenfassung
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
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Prozesstechnik.- Basisprozesse der Mikrosystemtechnik.- Sensor- und Aktoreffekte.- Monolithisch integrierte Mikrosysteme.- Hybride Systeme.
Details
Erscheinungsjahr: 2006
Fachbereich: Nachrichtentechnik
Genre: Technik
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Medium: Taschenbuch
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Herstellernummer: 85027195
Ausstattung / Beilage: Paperback
Einband: Kartoniert / Broschiert
Autor: Hilleringmann, Ulrich
Auflage: 2006
Hersteller: Vieweg & Teubner
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Maße: 210 x 148 x 16 mm
Von/Mit: Ulrich Hilleringmann
Erscheinungsdatum: 25.04.2006
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