Stephen D. Senturia: Microsystem Design

Um unseren Shop nutzen zu können, müssen Sie Javascript in Ihrem Browser aktivieren.

Cover: 9780792372462 | Microsystem Design | Stephen D. Senturia | Buch | Englisch | 2004

Dekorationsartikel gehören nicht zum Leistungsumfang.

Sprache: Englisch

130,95 €*

inkl. MwSt.

Versandkostenfrei per Post / DHL

Lieferzeit 2-3 Wochen

Sie können kein Produkt in den Warenkorb legen, da Javascript und technisch notwendige Cookies aktiviert sein müssen.

Kategorien:

Der Artikel ist nicht in deutscher Sprache verfasst.
Die Sprache der Produktbeschreibung und Details kann in Englisch angegeben sein. Sollten Sie Verständnisprobleme haben, wenden Sie sich gerne an uns.

Beschreibung

It is a real pleasure to write the Foreword for this book, both because I have known and respected its author for many years and because I expect this book¿s publication will mark an important milestone in the continuing worldwide development of microsystems. By bringing together all aspects of microsystem design, it can be expected to facilitate the training of not only a new generation of engineers, but perhaps a whole new type of engineer ¿ one capable of addressing the complex range of problems involved in reducing entire systems to the micro- and nano-domains. This book breaks down disciplinary barriers to set the stage for systems we do not even dream of today. Microsystems have a long history, dating back to the earliest days of mic- electronics. While integrated circuits developed in the early 1960s, a number of laboratories worked to use the same technology base to form integrated sensors. The idea was to reduce cost and perhaps put the sensors and circuits together on the same chip. By the late-60s, integrated MOS-photodiode arrays had been developed for visible imaging, and silicon etching was being used to create thin diaphragms that could convert pressure into an electrical signal. By 1970, selective anisotropic etching was being used for diaphragm formation, retaining a thick silicon rim to absorb package-induced stresses. Impurity- and electrochemically-based etch-stops soon emerged, and "bulk micromachining" came into its own.

Inhaltsverzeichnis

Getting Started.- An Approach to Mems Design.- Microfabrication.- Process Integation.- Modeling Strategies.- Lumped Modeling with Circuit Elements.- Energy-conserving Transducers.- Lumped-element System Dynamics.- Domain-Specific Details.- Elasticity.- Structures.- Energy Methods.- Dissipation and the Thermal Energy Domain.- Lumped Modeling of Dissipative Processes.- Fluids.- Circuit and System Issues.- Electronics.- Feedback Systems.- Noise.- Case Studies.- Packaging.- A Piezoresistive Pressure Sensor.- A Capacitive Accelerometer.- Electrostatic Projection Displays.- A Piezoelectric Rate Gyroscope.- Microsystems for DNA Amplification.- A Microbridge Combustible-gas Sensor.

Details

Erscheinungsjahr:	2000
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Buch
Seiten:	720
Inhalt:	xxvi 689 S.
ISBN-13:	9780792372462
ISBN-10:	0792372468
Sprache:	Englisch
Ausstattung / Beilage:	HC runder Rücken kaschiert
Einband:	Gebunden
Autor:	Senturia, Stephen D.
Auflage:	2001
Hersteller:	Springer US Springer US, New York, N.Y.
Maße:	241 x 160 x 44 mm
Von/Mit:	Stephen D. Senturia
Erscheinungsdatum:	30.11.2000
Gewicht:	1,232 kg

preigu-id: 102589429

Inhaltsverzeichnis

Details

Erscheinungsjahr:	2000
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Buch
Seiten:	720
Inhalt:	xxvi 689 S.
ISBN-13:	9780792372462
ISBN-10:	0792372468
Sprache:	Englisch
Ausstattung / Beilage:	HC runder Rücken kaschiert
Einband:	Gebunden
Autor:	Senturia, Stephen D.
Auflage:	2001
Hersteller:	Springer US Springer US, New York, N.Y.
Maße:	241 x 160 x 44 mm
Von/Mit:	Stephen D. Senturia
Erscheinungsdatum:	30.11.2000
Gewicht:	1,232 kg