Sputtering by Particle Bombardment II

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Beschreibung

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Inhaltsverzeichnis

and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.

Details

Erscheinungsjahr:	2014
Fachbereich:	Atomphysik & Kernphysik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Physik , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Inhalt:	xiii 394 S.
ISBN-13:	9783662311691
ISBN-10:	3662311690
Sprache:	Englisch
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Behrisch, R.
Redaktion:	Behrisch, R.
Herausgeber:	R Behrisch
Auflage:	Softcover reprint of the original 1st edition 1983
Hersteller:	Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	229 x 152 x 23 mm
Von/Mit:	R. Behrisch
Erscheinungsdatum:	23.08.2014
Gewicht:	0,594 kg

Artikel-ID: 105087945

Inhaltsverzeichnis

Details

Erscheinungsjahr:	2014
Fachbereich:	Atomphysik & Kernphysik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Physik , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Inhalt:	xiii 394 S.
ISBN-13:	9783662311691
ISBN-10:	3662311690
Sprache:	Englisch
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Behrisch, R.
Redaktion:	Behrisch, R.
Herausgeber:	R Behrisch
Auflage:	Softcover reprint of the original 1st edition 1983
Hersteller:	Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	229 x 152 x 23 mm
Von/Mit:	R. Behrisch
Erscheinungsdatum:	23.08.2014
Gewicht:	0,594 kg