Sputtering by Particle Bombardment I | preigu

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Beschreibung

With contributions by numerous experts

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Inhaltsverzeichnis

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.

Details

Erscheinungsjahr:	2014
Fachbereich:	Atomphysik & Kernphysik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Physik , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Reihe:	Topics in Applied Physics
Inhalt:	xi 284 S. 19 s/w Illustr. 284 p. 19 illus.
ISBN-13:	9783662308882
ISBN-10:	3662308886
Sprache:	Englisch
Ausstattung / Beilage:	Paperback
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Behrisch, R.
Redaktion:	Behrisch, R.
Herausgeber:	R Behrisch
Auflage:	Softcover reprint of the original 1st ed. 1981
Hersteller:	Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg Topics in Applied Physics
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	235 x 155 x 17 mm
Von/Mit:	R. Behrisch
Erscheinungsdatum:	23.08.2014
Gewicht:	0,458 kg

Artikel-ID: 105088557

Inhaltsverzeichnis

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.

Details

Erscheinungsjahr:	2014
Fachbereich:	Atomphysik & Kernphysik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Physik , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Reihe:	Topics in Applied Physics
Inhalt:	xi 284 S. 19 s/w Illustr. 284 p. 19 illus.
ISBN-13:	9783662308882
ISBN-10:	3662308886
Sprache:	Englisch
Ausstattung / Beilage:	Paperback
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Behrisch, R.
Redaktion:	Behrisch, R.
Herausgeber:	R Behrisch
Auflage:	Softcover reprint of the original 1st ed. 1981
Hersteller:	Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg Topics in Applied Physics
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	235 x 155 x 17 mm
Von/Mit:	R. Behrisch
Erscheinungsdatum:	23.08.2014
Gewicht:	0,458 kg

Artikel-ID: 105088557

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