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Cover: 9783540176701 | Prozeßtechnologie | Peter Seegebrecht (u. a.) | Taschenbuch | xvi
Dekorationsartikel gehören nicht zum Leistungsumfang.
Prozeßtechnologie
Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen
Taschenbuch von Günter Schumicki (u. a.)
Sprache: Deutsch

79,99 €*

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Kategorien:
Beschreibung
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.
Inhaltsverzeichnis
1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.
Details
Erscheinungsjahr: 1991
Fachbereich: Nachrichtentechnik
Genre: Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Taschenbuch
Seiten: 520
Reihe: Mikroelektronik
Inhalt: xvi
500 S.
168 s/w Illustr.
500 S. 168 Abb.
ISBN-13: 9783540176701
ISBN-10: 3540176705
Sprache: Deutsch
Ausstattung / Beilage: Paperback
Einband: Kartoniert / Broschiert
Autor: Schumicki, Günter
Seegebrecht, Peter
Auflage: Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Hersteller: Springer-Verlag GmbH
Springer Berlin Heidelberg
Mikroelektronik
Maße: 244 x 170 x 28 mm
Von/Mit: Günter Schumicki (u. a.)
Erscheinungsdatum: 08.03.1991
Gewicht: 0,887 kg
preigu-id: 102455361
Inhaltsverzeichnis
1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.
Details
Erscheinungsjahr: 1991
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Inhalt: xvi
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ISBN-13: 9783540176701
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Autor: Schumicki, Günter
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Auflage: Softcover reprint of the original 1st ed. 1991
Hersteller: Springer-Verlag GmbH
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Von/Mit: Günter Schumicki (u. a.)
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