Günter Schumicki: Prozeßtechnologie

Cover: 9783540176701 | Prozeßtechnologie | Günter Schumicki (u. a.) | Taschenbuch | xvi

Rückseite: 9783540176701 | Prozeßtechnologie | Günter Schumicki (u. a.) | Taschenbuch | xvi

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Beschreibung

Prozeßtechnologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschluß daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtprozeß für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der Entwurfsregeln wird eingegangen. Das Buch basiert auf dem reichen Erfahrungsschatz fertigungsorientierter Technologen.

Inhaltsverzeichnis

1 Einleitung.- 2 Reinstraumtechnologie.- 3 Materialtechnologie.- 4 Strukturerzeugung.- 5 Strukturübertragung.- 6 Thermische Oxidation.- 7 CVD-Verfahren.- 8 Metallisierung.- 9 Diffusionsverfahren.- 10 Ionenimplantation.- 11 Reinigungsverfahren.- 12 Prozeßintegration.- 13 Design-Regeln.- 14 Prozeßcharakterisierung.- 15 Prozeßkontrolle.- 16 Ausbeute und Zuverlässigkeit.

Details

Erscheinungsjahr:	1991
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Inhalt:	xvi 500 S. 168 s/w Illustr. 500 S. 168 Abb.
ISBN-13:	9783540176701
ISBN-10:	3540176705
Sprache:	Deutsch
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Schumicki, Günter Seegebrecht, Peter
Auflage:	Softcover reprint of the original 1st edition 1991
Hersteller:	Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	244 x 170 x 28 mm
Von/Mit:	Günter Schumicki (u. a.)
Erscheinungsdatum:	08.03.1991
Gewicht:	0,887 kg

Artikel-ID: 102455361

Inhaltsverzeichnis

Details

Erscheinungsjahr:	1991
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Mathematik , Medizin , Naturwissenschaften , Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Inhalt:	xvi 500 S. 168 s/w Illustr. 500 S. 168 Abb.
ISBN-13:	9783540176701
ISBN-10:	3540176705
Sprache:	Deutsch
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Schumicki, Günter Seegebrecht, Peter
Auflage:	Softcover reprint of the original 1st edition 1991
Hersteller:	Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg
Verantwortliche Person für die EU:	Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße:	244 x 170 x 28 mm
Von/Mit:	Günter Schumicki (u. a.)
Erscheinungsdatum:	08.03.1991
Gewicht:	0,887 kg