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Cover: 9780521763004 | Physics of Radio-Frequency Plasmas | Pascal Chabert (u. a.) | Buch
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Physics of Radio-Frequency Plasmas
Buch von Pascal Chabert (u. a.)
Sprache: Englisch

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Beschreibung
Focussing on the physics of low-temperature radio frequency plasmas, for graduate students and researchers in applied physics and electrical engineering.
Focussing on the physics of low-temperature radio frequency plasmas, for graduate students and researchers in applied physics and electrical engineering.
Über den Autor
Pascal Chabert is currently Research Director within CNRS. He leads the Low-Temperature Plasmas group of the Laboratoire de Physique des Plasmas at Ecole Polytechnique. His expertise is in plasma physics and plasma processing.
Inhaltsverzeichnis
1. Introduction; 2. Plasma dynamics and equilibrium; 3. Bounded plasmas; 4. Radiofrequency sheaths; 5. Single frequency capacitively-coupled plasmas; 6. Multi-frequency capacitively-coupled plasmas; 7. Inductively-coupled plasmas; 8. Helicon plasmas; 9. Real plasmas; 10. Electrical measurements; Index.
Details
Erscheinungsjahr: 2015
Fachbereich: Geisteswissenschaften allgemein
Rubrik: Geisteswissenschaften
Medium: Buch
ISBN-13: 9780521763004
ISBN-10: 0521763002
Sprache: Englisch
Ausstattung / Beilage: HC gerader Rücken kaschiert
Einband: Gebunden
Autor: Chabert, Pascal
Braithwaite, Nicholas
Hersteller: Cambridge University Press
Maße: 250 x 175 x 26 mm
Von/Mit: Pascal Chabert (u. a.)
Erscheinungsdatum: 30.06.2015
Gewicht: 0,859 kg
Artikel-ID: 107304307
Über den Autor
Pascal Chabert is currently Research Director within CNRS. He leads the Low-Temperature Plasmas group of the Laboratoire de Physique des Plasmas at Ecole Polytechnique. His expertise is in plasma physics and plasma processing.
Inhaltsverzeichnis
1. Introduction; 2. Plasma dynamics and equilibrium; 3. Bounded plasmas; 4. Radiofrequency sheaths; 5. Single frequency capacitively-coupled plasmas; 6. Multi-frequency capacitively-coupled plasmas; 7. Inductively-coupled plasmas; 8. Helicon plasmas; 9. Real plasmas; 10. Electrical measurements; Index.
Details
Erscheinungsjahr: 2015
Fachbereich: Geisteswissenschaften allgemein
Rubrik: Geisteswissenschaften
Medium: Buch
ISBN-13: 9780521763004
ISBN-10: 0521763002
Sprache: Englisch
Ausstattung / Beilage: HC gerader Rücken kaschiert
Einband: Gebunden
Autor: Chabert, Pascal
Braithwaite, Nicholas
Hersteller: Cambridge University Press
Maße: 250 x 175 x 26 mm
Von/Mit: Pascal Chabert (u. a.)
Erscheinungsdatum: 30.06.2015
Gewicht: 0,859 kg
Artikel-ID: 107304307
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