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Beschreibung
Vom entspiegelten Brillenglas bis zur CD und zum Festplattenlaufwerk: Dünne Schichten mit speziellen optischen oder magnetischen Eigenschaften werden immer verbreiteter eingesetzt! Eine Methode der Herstellung solcher Schichten, die physikalische Abscheidung aus der Gasphase, bildet das zentrale Thema dieses Buches. Ebensogut als Lehrbuch wie als Nachschlagewerk für die Berufspraxis geeignet! (11/99)
Vom entspiegelten Brillenglas bis zur CD und zum Festplattenlaufwerk: Dünne Schichten mit speziellen optischen oder magnetischen Eigenschaften werden immer verbreiteter eingesetzt! Eine Methode der Herstellung solcher Schichten, die physikalische Abscheidung aus der Gasphase, bildet das zentrale Thema dieses Buches. Ebensogut als Lehrbuch wie als Nachschlagewerk für die Berufspraxis geeignet! (11/99)
Über den Autor
JOHN E. MAHAN, PhD, is Professor of Electrical Engineering at Colorado State University.
Inhaltsverzeichnis
Introduction to Physical Vapor Deposition.
The Kinetic Theory of Gases.
Adsorption and Condensation.
Principles of High Vacuum.
Evaporation Sources.
Principles of Sputtering Discharges.
Sputtering.
Film Deposition.
Index.
The Kinetic Theory of Gases.
Adsorption and Condensation.
Principles of High Vacuum.
Evaporation Sources.
Principles of Sputtering Discharges.
Sputtering.
Film Deposition.
Index.
Details
Erscheinungsjahr: | 2000 |
---|---|
Fachbereich: | Technik allgemein |
Genre: | Technik |
Rubrik: | Naturwissenschaften & Technik |
Medium: | Buch |
ISBN-13: | 9780471330011 |
ISBN-10: | 0471330019 |
Sprache: | Englisch |
Einband: | Gebunden |
Autor: | Mahan, John E |
Hersteller: |
Wiley
John Wiley & Sons |
Maße: | 242 x 161 x 21 mm |
Von/Mit: | John E Mahan |
Erscheinungsdatum: | 01.02.2000 |
Gewicht: | 0,608 kg |
Über den Autor
JOHN E. MAHAN, PhD, is Professor of Electrical Engineering at Colorado State University.
Inhaltsverzeichnis
Introduction to Physical Vapor Deposition.
The Kinetic Theory of Gases.
Adsorption and Condensation.
Principles of High Vacuum.
Evaporation Sources.
Principles of Sputtering Discharges.
Sputtering.
Film Deposition.
Index.
The Kinetic Theory of Gases.
Adsorption and Condensation.
Principles of High Vacuum.
Evaporation Sources.
Principles of Sputtering Discharges.
Sputtering.
Film Deposition.
Index.
Details
Erscheinungsjahr: | 2000 |
---|---|
Fachbereich: | Technik allgemein |
Genre: | Technik |
Rubrik: | Naturwissenschaften & Technik |
Medium: | Buch |
ISBN-13: | 9780471330011 |
ISBN-10: | 0471330019 |
Sprache: | Englisch |
Einband: | Gebunden |
Autor: | Mahan, John E |
Hersteller: |
Wiley
John Wiley & Sons |
Maße: | 242 x 161 x 21 mm |
Von/Mit: | John E Mahan |
Erscheinungsdatum: | 01.02.2000 |
Gewicht: | 0,608 kg |
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