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Physical Vapor Deposition of Thin Films
Buch von John E Mahan
Sprache: Englisch

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Beschreibung
Vom entspiegelten Brillenglas bis zur CD und zum Festplattenlaufwerk: Dünne Schichten mit speziellen optischen oder magnetischen Eigenschaften werden immer verbreiteter eingesetzt! Eine Methode der Herstellung solcher Schichten, die physikalische Abscheidung aus der Gasphase, bildet das zentrale Thema dieses Buches. Ebensogut als Lehrbuch wie als Nachschlagewerk für die Berufspraxis geeignet! (11/99)
Vom entspiegelten Brillenglas bis zur CD und zum Festplattenlaufwerk: Dünne Schichten mit speziellen optischen oder magnetischen Eigenschaften werden immer verbreiteter eingesetzt! Eine Methode der Herstellung solcher Schichten, die physikalische Abscheidung aus der Gasphase, bildet das zentrale Thema dieses Buches. Ebensogut als Lehrbuch wie als Nachschlagewerk für die Berufspraxis geeignet! (11/99)
Über den Autor
JOHN E. MAHAN, PhD, is Professor of Electrical Engineering at Colorado State University.
Inhaltsverzeichnis
Introduction to Physical Vapor Deposition.

The Kinetic Theory of Gases.

Adsorption and Condensation.

Principles of High Vacuum.

Evaporation Sources.

Principles of Sputtering Discharges.

Sputtering.

Film Deposition.

Index.
Details
Erscheinungsjahr: 2000
Fachbereich: Technik allgemein
Genre: Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Buch
Seiten: 336
Inhalt: Introduction to Physical Vapor Deposition.The Kinetic Theory of Gases.Adsorption and Condensation.Principles of High Vacuum.Evaporation Sources.Principles of Sputtering Discharges.Sputtering.Film Deposition.Index.
ISBN-13: 9780471330011
ISBN-10: 0471330019
Sprache: Englisch
Einband: Gebunden
Autor: Mahan, John E
Hersteller: Wiley
John Wiley & Sons
Maße: 242 x 161 x 21 mm
Von/Mit: John E Mahan
Erscheinungsdatum: 01.02.2000
Gewicht: 0,608 kg
preigu-id: 105431263
Über den Autor
JOHN E. MAHAN, PhD, is Professor of Electrical Engineering at Colorado State University.
Inhaltsverzeichnis
Introduction to Physical Vapor Deposition.

The Kinetic Theory of Gases.

Adsorption and Condensation.

Principles of High Vacuum.

Evaporation Sources.

Principles of Sputtering Discharges.

Sputtering.

Film Deposition.

Index.
Details
Erscheinungsjahr: 2000
Fachbereich: Technik allgemein
Genre: Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Buch
Seiten: 336
Inhalt: Introduction to Physical Vapor Deposition.The Kinetic Theory of Gases.Adsorption and Condensation.Principles of High Vacuum.Evaporation Sources.Principles of Sputtering Discharges.Sputtering.Film Deposition.Index.
ISBN-13: 9780471330011
ISBN-10: 0471330019
Sprache: Englisch
Einband: Gebunden
Autor: Mahan, John E
Hersteller: Wiley
John Wiley & Sons
Maße: 242 x 161 x 21 mm
Von/Mit: John E Mahan
Erscheinungsdatum: 01.02.2000
Gewicht: 0,608 kg
preigu-id: 105431263
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