Es ist das Ziel aller Festkorperanalyseverfahren, durch Beitrage zur Aufkllirung der stofflichen Zusammensetzung und des strukturellen Aufbaus, insbesondere in Mikro­ bereichen von Festkorpern, Zusammenhange mit entsprechenden makroskopischen Festkorpereigenschaften aufzudecken und so Voraussetzungen ftir deren gezielte Beeinflussung zu schaffen. 1m vorliegenden Buch werden Methoden der Festkorperanalyse mit Elektronen, Ionen und Rontgenstrahlen insoweit beschrieben, als - abgesehen von einem. Kapitel tiber Feldemissionsmikroskopie - sowohl zur Anregung des die Analyse ermoglichenden physikalischen Prozesses wie auch zum Nachweis desselben jeweils eine der drei genannten Teilchen- bzw. Strahlungsarten genutzt wird. Aus der Ftille der Analysenprinzipien, die auf der Basis der Wechselwirkung von Teilchen­ strahlung bzw. elektromagnetischer Strahlung mit dem Festkorper arbeiten, werden - dem Buchtitel entsprechend - seitens der Teilchenstrahlung nur ElektrOllen und Ionen (nicht aber N eutronen) und aus dem breiten Spektrum der elektromagnetischen Strahlung nur die Rontgenstrahlen - im Teilchenbild die Rontgenquanten - aus­ gewahlt. Die eng begrenzte Auswahl war einerseits wegen des notwendigerweise beschrankten Umfangs des Buches erforderlich, andererseits bot sich eine Zusammen­ fassung dieser Methodengruppe wegen der engen Beriihrungspunkte hinsichtlich der Anregung der zur Analyse benutzten Strahlung (Elektronenquellen, Ionenquellen, Rontgenstrahlquellen), des Nachweises der durch die Wechselwirkung mit dem Fest­ korper erzeugten bzw. modifizierten Elektronen-, Ionen-oder Rontgenstrahlung und der geratetechnischen Grundlagen (Hochspannungsanlagen ftir die Strahlungs­ erzeugung, Einsatz der Vakuumtechnik) an.