Einflussfaktoren auf die Emissionseigensch... | preigu

Cover: 9783863598594 | Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV...

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Beschreibung

Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung - dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma - bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.

Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung - dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma - bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.

Details

Genre:	Technik allg.
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
ISBN-13:	9783863598594
ISBN-10:	3863598598
Sprache:	Deutsch
Ausstattung / Beilage:	Großformatiges Paperback. Klappenbroschur
Autor:	Vieker, Jochen
Hersteller:	Apprimus Verlag
Verantwortliche Person für die EU:	preigu GmbH & Co. KG, Lengericher Landstr. 19, D-49078 Osnabrück, mail@preigu.de
Maße:	210 x 148 x 9 mm
Von/Mit:	Jochen Vieker
Gewicht:	0,283 kg

Artikel-ID: 118381202

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