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Cover: 9783863602000 | Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen...
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Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit...
Taschenbuch von Andreas Benkenstein
Sprache: Deutsch

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Beschreibung
In dieser Arbeit wurde eine Hohlkathodenentladung (engl.: hollow cathode discharge, kurz HCD) und die damit erzeugte diamantartige Kohlenstoffschicht (engl.: diamond-like carbon, kurz DLC) in einer Sacklochgeometrie untersucht. Das Hauptziel war die Erarbeitung eines Grundlagenverständnisses über die Wirkmechanismen bei der Plasmagenerierung und der DLC-Beschichtung. Aufbauend auf die Analyse der Gasdruckverteilung und des Anregungssignals wurden Spannungs-Strom-Charakteristiken unter Argonatmosphäre bestimmt. Die Einflüsse auf die Schichteigenschaften wie Wachstumsraten, sowie Schichtdickenprofile und Schichthärte auf der Probenlängsachse konnten messtechnisch identifiziert werden. Nachdem die Einflussgrößen und Mechanismen in den einzelnen HCD-Zonen identifiziert und analysiert wurden, werden die Prozesse zur Beschichtung von Sacklochgeometrien beherrscht. Aufbauend auf den Ergebnissen können die Parameter der Beschichtung in einer Sacklochgeometrie gezielt verändert werden.
In dieser Arbeit wurde eine Hohlkathodenentladung (engl.: hollow cathode discharge, kurz HCD) und die damit erzeugte diamantartige Kohlenstoffschicht (engl.: diamond-like carbon, kurz DLC) in einer Sacklochgeometrie untersucht. Das Hauptziel war die Erarbeitung eines Grundlagenverständnisses über die Wirkmechanismen bei der Plasmagenerierung und der DLC-Beschichtung. Aufbauend auf die Analyse der Gasdruckverteilung und des Anregungssignals wurden Spannungs-Strom-Charakteristiken unter Argonatmosphäre bestimmt. Die Einflüsse auf die Schichteigenschaften wie Wachstumsraten, sowie Schichtdickenprofile und Schichthärte auf der Probenlängsachse konnten messtechnisch identifiziert werden. Nachdem die Einflussgrößen und Mechanismen in den einzelnen HCD-Zonen identifiziert und analysiert wurden, werden die Prozesse zur Beschichtung von Sacklochgeometrien beherrscht. Aufbauend auf den Ergebnissen können die Parameter der Beschichtung in einer Sacklochgeometrie gezielt verändert werden.
Details
Erscheinungsjahr: 2019
Fachbereich: Chemische Technik
Genre: Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Taschenbuch
Titel: Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen
Inhalt: 204 S.
23 farbige Illustr.
ISBN-13: 9783863602000
ISBN-10: 3863602005
Sprache: Deutsch
Ausstattung / Beilage: Paperback
Einband: Kartoniert / Broschiert
Autor: Benkenstein, Andreas
Hersteller: Universitätsverlag Ilmenau
Technische Universit„t Ilmenau
Maße: 210 x 148 x 12 mm
Von/Mit: Andreas Benkenstein
Erscheinungsdatum: 01.01.2019
Gewicht: 0,271 kg
Artikel-ID: 126060098
Details
Erscheinungsjahr: 2019
Fachbereich: Chemische Technik
Genre: Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Taschenbuch
Titel: Die besonderen Bedingungen der Abscheidung von diamantähnlichen Kohlenstoffschichten in Hohlkathodenanordnungen mit hohen Aspektverhältnissen
Inhalt: 204 S.
23 farbige Illustr.
ISBN-13: 9783863602000
ISBN-10: 3863602005
Sprache: Deutsch
Ausstattung / Beilage: Paperback
Einband: Kartoniert / Broschiert
Autor: Benkenstein, Andreas
Hersteller: Universitätsverlag Ilmenau
Technische Universit„t Ilmenau
Maße: 210 x 148 x 12 mm
Von/Mit: Andreas Benkenstein
Erscheinungsdatum: 01.01.2019
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Artikel-ID: 126060098
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